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北京航空航天大学集成电路科学与工程学院芯片加工教学研究平台公开招标公告

2024-10-30 北京-海淀-

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所在地区：	北京-海淀-	发布日期：	2024年10月30日
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招标采购正文

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项目概况北京航空航天大学集成电路科学与工程学院芯片加工教学研究平台 招标项目的潜在投标人应在中钢招标有限责任公司官网（http：(略)</blockquote>一、项目基本情况项目编号：(略)项目名称：(略)预算金额：(略)最高限价（如有）：(略)采购需求：<table><tbody><tr><td>包号</td><td>标的名称</td><td>数量</td><td>简要技术需求或服务要求</td></tr><tr><td>(略)</td><td>芯片加工教学研究平台</td><td>1套</td><td>一、桌面光刻机 需求 6台支持4英寸及以下单面曝光，最小曝光线宽 3μm。系统需配有全电动控制晶圆承载台，XY±(略)mm，Z 轴 (略)mm，θ±4°。系统需配有 (略)nmLED 光源，支持升级为 (略)nm 光源。二、小型磁控溅射设备 需求 3台1.要求紧凑型设计，设备总体积小于 (略)mm×(略)mm×(略)mm。配备机械泵组，可实现系统的自动抽真空，真空度优于 9X(略)-3Pa。三、小型离子束刻蚀机 需求 3台支持 4 英寸晶圆的刻蚀，刻蚀速率可调。配置辅助离子源，离子束能量 (略)eV (略)eV 连续可调。配备分子泵组，可实现系统的自动抽真空，真空度≤5×(略)-4Pa。四、多功能测试机 需求 1台最大磁场强度：(略)磁场均匀性：(略)磁场分辨率：(略)五、芯片场景演示系统 需求 2台系统功能：(略)系统组成：(略)六、原子力显微镜 需求 1台1.XY方向噪音水平：(略)2.Z方向噪音水平：(略)3.XY方向非线性度：(略)七、小型磁滞回线测量仪 需求 1台1.结构：(略)2.测试模式：(略)3.样品尺寸：(略)八、等离子体去胶机 需求 1台1.腔体材质：(略)2.电源功率：(略)3.频率：(略)九、金相显微镜 需求 3台配备 5X，(略)X，(略)X， (略)X 物镜。可调光源，支持反射，透射观察。十、旋涂机 需求 3台1.转速(略)-(略)rpm2.转速稳定性<±1%3.含真空泵十一、铝线键合机 需求2台1.铝丝直径：(略)2.焊线跨度：(略)3.焊接弧度：(略)十二、辅助设备一套冰箱1台（展示冰箱(略)L以内可以在桌面或桌下，用于存储光刻胶），(略)L左右鼓风干燥箱1个(略)L左右真空干燥箱1个含泵，6寸热板2个</td></tr></tbody></table>注：(略)合同履行期限：(略)本项目(不接受)联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：2.1 中小企业政策本项目专门面向中小企业采购。即：(略)2.2 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）：(略)3.本项目的特定资格要求：(略)三、获取招标文件时间：(略)地点：(略)方式：(略)售价：(略)四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：(略)开标时间：(略)地点：(略)五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目需要落实的政府采购政策：(略)七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：(略)地址：(略)联系方式：(略)2.采购代理机构信息名 称：(略)地　址：(略)联系方式：(略)3.项目联系方式项目联系人：(略)电　话：(略)如果内容不全或者附件请点击网址查看：(略)

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