| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 荧光寿命测量系统 | YX(略) | A(略)物理光学仪器 | 开展超快时序光学测量的光谱仪设备,包括条纹变像管,高灵敏度CCD探测器和单色仪等部分,具体参数要求为:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| 2 | FIB扫描电子显微镜双束系统 | YX(略) | A(略)显微镜 | (略);拟购FIB扫描电子显微镜双束系统1套。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| 3 | 化学机械平坦化系统 | YX(略) | A(略)工艺试验机 | (略);拟购化学机械平坦化系统1套。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| 4 | 激光直写系统 | YX(略) | A(略)工艺试验机 | (略);拟购激光直写系统1套。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| 5 | 原子层刻蚀系统 | YX(略) | A(略)工艺试验机 | (略);拟购原子层刻蚀系统1套。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| 6 | 误码率分析仪 | YX(略) | A(略)集成电路参数测量仪 | (略);拟购误码率分析仪1台。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| 7 | 电子束蒸镀机 | YX(略) | A(略)工艺试验机 | (略);拟购电子束蒸镀机1台。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| 8 | 脉冲激光沉积系统 | YX(略) | A(略)工艺试验机 | (略);拟脉冲激光沉积系统1台。主要规格参数:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| 9 | 大带宽高速时域信号调制分析仪 | YX(略) | A(略)集成电路参数测量仪 | (略);拟购大带宽高速时域信号调制分析仪统1台。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | 反应离子刻蚀机 | YX(略) | A(略)工艺试验机 | (略);拟购反应离子刻蚀机1台。主要规格参数:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | 存储器芯片测试系统 | YX(略) | A(略)集成电路参数测量仪 | (略);拟购存储器芯片测试系统1套。主要规格参数:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | 频谱分析仪 | YX(略) | A(略)集成电路参数测量仪 | (略);拟购频谱分析仪1台。主要规格参数:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | 等离子体增强化学气相沉积系统 | YX(略) | A(略)工艺试验机 | (略);拟购等离子体增强化学气相沉积系统1套。主要规格参数:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | 矢量网络分析仪 | YX(略) | A(略)集成电路参数测量仪 | (略);拟购矢量网络分析仪1台。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | 功率器件分析仪 | YX(略) | A(略)功率计 | (略);拟购功率器件分析仪1台。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | 金相显微镜 | YX(略) | A(略)显微镜 | (略);拟购金相显微镜4台。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | 相位噪声分析仪 | YX(略) | A(略)集成电路参数测量仪 | (略);拟购相位噪声分析仪1台。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | 椭偏仪 | YX(略) | A(略)光学测试仪器 | (略);拟购椭偏仪1台。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | GPU服务器 | YX(略) | A(略)服务器 | (略);拟购GPU服务器1台。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |
| (略) | ESD测试系统 | YX(略) | A(略)集成电路参数测量仪 | 拟购ESD测试系统1套。该系统包括半导体器件及ESD测试平台、中脉冲宽度扩展器及手动探头。主要技术指标:(略) | (略) | (略)年(略)月 | |